新三板立异层公司阳光中科新增专利信息授权:“一种具有高温带的ALD喷淋组件”

2023-11-28 行业新闻

  据启信宝,新三板立异层公司阳光中科(838982)新增专利信息,专利权人为阳光中科,发明人是陈泽其、吴旭荣、陈阳泉、戴亮亮、卢发树、柯雨馨、许荣耀。专利授权日为2023年8月29日,专利名称为“一种具有高温带的ALD喷淋组件”,专利类型为我国实用新型专利,专利请求号为CN1.4。

  该专利摘要显现:本实用新型公开了一种具有高温带的ALD喷淋组件,包含基板,用于容置待加工件;锁紧件,用于ALD(Atomic layer deposition,ALD)工序中ALD喷淋组件的固定;高温带,坐落所述基板的上外表,用于使ALD喷淋组件和ALD设备内腔体端面严密贴合;所述ALD喷淋组件,用于PERC(Passivated Emitter and Rear Cell,PERC)太阳能电池的ALD方法氧化铝膜堆积。因而,本请求完成了ALD喷淋组件和内腔体的端面贴合更好,进步ALD设备内腔体气密性,进步产线良率,以及改进了内腔体端面和ALD喷淋组件堆积过多的氧化铝。

  免责声明:本文内容与数据仅供参考,不构成出资主张,运用前核实。据此操作,危险自担。

  如需转载请与《每日经济新闻》报社联络。未经《每日经济新闻》报社授权,禁止转载或镜像,违者必究。

  特别提示:假如个人会运用了您的图片,请作者与本站联络讨取稿费。如您不期望著作出现在本站,可联络咱们要求撤下您的著作。

  新三板立异层公司山由帝奥新增专利信息授权:“一种光伏组件及光伏组件总成”

  新三板立异层公司西格码新增专利信息授权:“一种用于光伏电站组件清洗的设备”

  深圳大学传播学院特聘教授辜晓进:技能赋能簇新业态 ,媒体怎么“抵达”与“复兴”?

  我国人民大学新闻学院院长周勇:立异事例和产品亮点杰出 干流媒体专业价值会得到更好显示

  每经专访天相投顾董事长林义相:主张加大对“伪IPO”的处分力度,建立金融安稳基金提振商场决心


>